OAI - 曝光機
OAI - 曝光機

 

 

OAI Series 6000 生產型曝光機

全面的曝光系统

 

  • 0.5μ 精確正面對準

  • 1μ 正反面對準

  • 高產量：170 WPH in 1st Mask Mode

  • 均勻性優於 ±3%

  • 適用於各種規格的晶片

  • 自動平衡補償

  • 適用於超強工藝的重復性要求

  • 亞微米分辨率

 

 

 

 

OAI - 曝光機

  • 品 牌 OAI
  • 型 號 OAI - Mask Aligners & Exposure Systems
  • 庫存狀態 有現貨
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