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美國Bruker公司是世界頂尖原子力顯微鏡，光學輪廓儀，臺階儀生產廠家。全球顧客包括半導體、化合物半導體、數據儲存，與多重領域的研究機構。Bruker爲了維持對高科技產品成長的領先地位，持續推出新產品，期望爲顧客提供長期的產品優勢，提升生產良率、增加生產力、提高品質及降低使用成本。 |
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FastScan Pro 原子力顯微鏡
用於工業研發的自動化奈米計量
Dimension FastScan Pro ：生產型快速掃描原子力顯微鏡
Dimension FastScan Pro 提供當今工業界相當快速的掃描和豐富的性能測量。該系統支援全自動或半自動測量，同時具有易操作性以及滿足實現品質控制、品質保證和故障分析的低成本要求。
生產多功能性
FastScan Pro 利用開放性平台、大樣品或多樣品平台以及各種易用性功能， 為工業 QA、QC 和 FA 部門提供靈活的高性能奈米級計量。該系統可用於半導體界、硬碟界、HB-LED 業界 的 2 吋至 12 吋晶圓的自動測量。它具有增加的 XY 方向行程，可完成 200mm 晶圓或直徑為 200 mm 的面積中的多個樣品中的多個區域，並配有 300 mm 晶圓的可選樣品台。該系統還提供用於形貌、粗糙度和其他計量參數的分析。擁有可更換的高速 FastScan 掃描頭以及具有 90μm 掃描範圍的 Icon 掃描頭（用於更大的掃描和高精度地形性能）。
强大的自動化軟體
AutoMET™ 的量測流程軟體提供操作簡單、快速、全自動、以及關鍵的品質控制參數。該軟體允許在多個樣品或單個大型樣品上進行多點自動測量。它還提供光學和 AFM 圖型辨識、探針針尖中心化、空白晶圓和圖形化後晶圓的測試，以及數十奈米範圍內的圖像位置對準精確度。全面而簡單的測量流程編寫使高級用戶在線和離線軟體的應用中跟快捷、有效。
強精確控制探針於樣品之間相互作用
獨特的原子力顯微鏡技術可以控制探針和樣本之間任何一點的范德華力。這種精確的探針和樣品之間的力控制允許將機器用在廣泛的樣品類型上，從軟聚合物、薄膜和電氣樣品到硬材料。它還提供最低的可用於成像的力，探針壽命超過數百次掃描和數據收集。
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FastScan Pro |
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輕鬆建立測量流程，使工程師能夠按名稱定義測量位置、以及測量方式和每個位置的測量次數 |
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流程測試窗口，顯示基於晶圓的分佈，用於 |
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Dimension FastScan Pro 具有精確控制探針於樣品的相互作用的能力，適用於各種樣品類型，從軟聚合物、薄膜和電學樣品到非常堅硬的材料都可以進行掃描。
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Dimension FastScan Pro 圖例 | |
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由於探針震盪中的阻尼效應，使用經典的成像模式很難對深溝槽結構進行成像。峰值力模式可以掃描到深溝槽結構的底部，在此範例中，利用了布魯克標準探針深65納米，寬50奈米的線和溝槽進行了成像 |
 極平樣品：玻璃基板，粗糙度低，
Rq=0.194nm,
Ra=0.153nm
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Dimension Edge為先進學術研究提供最佳解決方案
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使用 Dark Lift 掃描電容顯微鏡獲得精確的
SRAM 樣品二維摻雜影像。影像尺寸：15μm
切口測試結構的閉環模式形貌圖，展現了雙波紋狀溝槽內的連接孔。利用 Dimension 掃描器與 FIB 探針結合可對此類非常具有挑戰性的幾何形狀進行測量，而不會損壞探針 |
電學表徵 Dimension Edge 把 AFM 探針連接到低噪音電流放大器上，開發了 Dark L 模式， Dark Lift 是利用導電原子力數據，把光電效應從樣品的本徵電導性中清晰分離的 唯一方法。 Dark L 基於布魯克專利的 Lift Mode, Lift Mode 廣泛應用於磁力顯 微鏡和靜電力顯微鏡。系統利用這兩種性能確保靜電電勢成像時可獲得最佳測試 結果。結合了 Dark L 和閉環掃描（常損耗量）的掃描電容顯微鏡 (SCM), 迄今為止 仍然是對摻雜濃度表徵的最佳解決方案。如果研究者想要在最高靈敏度下偵測小 電壓的變化也可將 L Mode 與表面電位顯微鏡結合，輕鬆取得目標數據。 Dimension Edge 系統能夠為任何靜電電位成像和檢測，提供最佳的解決方案。
檢測環境多樣性 Dimension Edge 還可以在力學性能表徵和材料成像上提供獨特的應用解決方 案。加熱 / 冷卻附件，能夠在． 35 ℃到 +250 ℃溫度範圍內，控制測量條件，研究 樣品的結構與特性。還可以用最高 400 ℃局部加熱進行奈米級熱分析。生物樣品 可以在液體配件中進行簡易有效的原位測量。系統的三軸閉環控制確保了精確的 力學測量，具有熱調節校準探針彈性常數功能，和液態中共振峰識別的功能。
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