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日本化藥(Nippon Kayaku)擁有近百年歷史，是環氧樹脂行業的領導者。側壁陡直，機械性，絕緣性及耐溫性能等SU-8無可比擬的優點，也正是得益於日本化藥的支持。從2008年起，Microchem併入日本化藥旗下，並與日本化藥聯合開發出KPM以及SU-8 3000系列等新產品。

新！ KPM-500 DFR - 晶圓黏合材乾膜(透明及黑色)

材料說明:
KPM-500 DFR是一種光敏永久負型乾膜抗蝕劑。採用低鹵環氧樹
脂和無銻配方。 KPM-500 DFR可以製造化學和熱穩定結構，例如
用於傳感器封裝的腔壁，以及用於微流體裝置的蓋子。

主要特點:
•無銻低鹵素
•開發了水性TMAH顯影
•負型可圖案化乾膜黏合劑，用於永久性晶圓黏合
•對矽和玻璃具有出色的附著力
•低技術溫度，180°C完全固化快速無空隙鍵合(150°C，10.2kN)
•使用寬帶或i-lne曝光工具進行圖案化

製程流程

SU-8 3000CF - 永久負型乾膜
SU-8 3000CF 是一種光敏永久性負型乾膜。 SU-8 3000CF 乾膜
採用低鹵環氧樹脂，無銻設計，可應用於腔體封裝和微流體裝
置蓋中，製造化學和熱穩定結構。

特色：
• 無銻元素
• 低鹵素（總氯<900 ppm）
• 低金屬腐蝕
• 優異的解析度和高縱橫比垂直輪廓 (> 3，20μm膜厚度)
• 優異的熱穩定性
• 製程溫度低，吸水率低
• 通過可靠度測試 (HAST 85ºC/ RH 85%，168 hrs)

腔體結構

製程流程

應用
• 用於SAW濾波器，BAW濾波器和感測器的腔晶圓級體封裝
• 微流體的3D結構

日本Nippon Kayaku SU-8 乾膜

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